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真空灭弧室外表面构建涂层抗金属微粒吸附的方法

发明专利有效
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

李昊旻; 王景石; 冯明路; 耿英三; 刘志远

IPC 分类

C23C 4/11 (2016.01)C23C 4/134 (2016.01)C23C 4/04 (2006.01)C23C 4/02 (2006.01)C23C 4/18 (2006.01)

本发明公开一种真空灭弧室外表面构建涂层抗金属微粒吸附的方法,属于真空灭弧室及高压电气设备的表面防护与绝缘强化技术领域。该方法通过在灭弧室瓷壳外表面制备具有低表面能和微纳双尺度粗糙结构的无机氧化物涂层,抑制电场极化下金属微粒的吸附与聚集,从而避免局部电场畸变和真空灭弧室绝缘失效。所述涂层以氧化钛、氧化硅和氧化锆混合粉末,通过等离子喷涂工艺制备,结构稳定、附着力高,可长期用于高电压、机械振动等复杂运行环境下的真空灭弧室防护。