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一种高耐磨复合PVD膜层及其制备方法

发明专利有效
10权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

洪胜; 吕敬书

IPC 分类

C23C 14/06 (2006.01)C23C 14/02 (2006.01)C23C 14/16 (2006.01)C23C 14/14 (2006.01)C23C 14/35 (2006.01)

本发明公开了一种高耐磨复合PVD膜层及其制备方法,高耐磨复合PVD膜层包括:结合层,设置于基材的表面;TiN耐磨顶层,设置于结合层远离基材的一侧;颜色调节层,设置于结合层与TiN耐磨顶层之间。高耐磨复合PVD膜层的制备方法包括步骤:通入氧气,调整Ti靶、Al靶电流,步进增加缓慢通入氮气,沉积TiAlON层至靶材中毒;靶材中毒后,停止增加氮气,以中毒时气量继续沉积TiAlON层10分钟~13分钟。该高耐磨复合PVD膜层,兼具极高耐磨性、优异结合力、特定美观颜色以及良好整体韧性。该高耐磨复合PVD膜层的制备方法,成功制备出既满足特定灰紫色外观要求,又具备极高耐磨性和结合力的高耐磨复合PVD膜层。

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