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一种碲化镉镀膜装置及防短路方法

发明专利有效
10权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

王延龙; 张镇; 刘庆平; 罗诗檀; 陈绪贵; 余文海; 赵煊; 王琪; 蒋猛; 赵雷

IPC 分类

C23C 14/06 (2006.01)C23C 14/24 (2006.01)

本发明涉及一种碲化镉镀膜装置及防短路方法,属于碲化镉镀膜技术领域,解决现目前碲化镉镀膜时,碲化镉沉积,使电极与坩埚壁之间导通的技术问题。碲化镉镀膜装置及防短路方法包括真空容器、加热容器、盖板以及绝缘件,其中加热容器,安装于真空容器内,加热容器顶部具有开口;盖板安装于加热容器上方;加热容器的顶面为安装面,绝缘件安装于安装面,并位于盖板和加热容器之间,加热容器的内壁凸出于绝缘件的内壁,以使绝缘件的内壁和加热容器内壁之间形成台阶部,电极位于绝缘件上方。该碲化镉镀膜装置使沉积在台阶部的碲化镉减少,提高绝缘件的绝缘性能,减少加热容器与电极导通。

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