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一种金刚石红外窗口薄膜及其制备方法
发明专利有效
8权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
孙鹏; 刘华松; 杨仕琪; 姜承慧; 廉伟艳; 刘丹丹; 郎垚璞; 孙磊; 顿世杰
IPC 分类
C23C 14/08 (2006.01)G02B 1/10 (2015.01)G02B 1/14 (2015.01)C23C 14/30 (2006.01)C23C 14/54 (2006.01)C23C 14/32 (2006.01)
本申请提供一种金刚石红外窗口薄膜及其制备方法,通过在金刚石基底表面设置稀土金属氧化物薄膜,首先,通过选用折射率介于金刚石与空气之间的稀土氧化物,利用干涉相消原理将目标波段的平均透过率显著提升,高效解决了高反射损失问题。其次,该致密的氧化物薄膜在金刚石表面形成了一道物理化学屏障,有效阻隔了高温氧气与基底的直接接触,从而抑制了在700‑800℃下的氧化反应,从根本上解决了金刚石的高温氧化难题。最终,该薄膜兼具高增透、强抗氧化与优异的膜基结合力,使金刚石窗口薄膜在承受剧烈热冲击后仍能保持光学性能稳定与结构完整。
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