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一种球面金属基纳米叠层导电耐磨涂层及其制备方法与应用
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
汪爱英; 张玉鹏; 王振玉; 王丽; 马冠水
IPC 分类
C23C 14/35 (2006.01)C23C 14/02 (2006.01)C23C 14/16 (2006.01)C23C 14/18 (2006.01)
本发明属于耐磨涂层技术领域,涉及一种球面金属基纳米叠层导电耐磨涂层及其制备方法与应用。本发明公开了一种球面金属基纳米叠层导电耐磨涂层的制备方法,包括:在40~70℃和1~5Mpa的惰性气体环境中,先后通过脉冲偏压刻蚀与高功率脉冲磁控溅射处理旋转的球体基体,在刻蚀后的球体基体表面形成厚度为0.12~2.0μm球面金属基纳米叠层导电耐磨涂层。本发明还公开了该涂层及具有该涂层的球体具有较好的导电性、摩擦性能与膜基结合强度,能广泛应用于航空航天、能源重工、医疗器件等领域。
§ Ⅵ
专利附图
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