一种用于PVD涂层设备的智能工艺控制系统及方法

本发明公开了一种用于PVD涂层设备的智能工艺控制系统及方法，涉及物理气相沉积技术领域，包括人机交互模块、工艺数据库、数据处理模块、数据采集模块，所述人机交互模块用于用户通过设备显示端输入实际工件信息，以便核对实际工件信息，随后获取反馈结果，所述工艺数据库用于预先存储预设加工信息并与实际工件信息进行核对，随后再向人机交互模块输出反馈结果，同时不断更新动态补偿系数，所述数据处理模块用于根据实际工件信息计算工艺涂层时间，并经工艺数据库传输至人机交互模块，同时还将在生产完成后根据实际膜厚反向修正动态补偿系数，进行自学习优化，所述数据采集模块用于实时监测设备状态，该发明提高了涂层加工工序的智能化。