团簇束流设备

本发明公开了一种团簇束流设备，涉及团簇束流技术领域，包括工作平台及依次连接的团簇产生、束流调控、束流筛选、沉积机构。工作平台设滑轨与滑动结构，便于各机构灵活定位拆装。团簇产生机构含角度可调冷凝腔、可调节喷嘴及离子漏斗，实现团簇精准生成；束流调控机构的圆锥形溅射器分离无散射束流；束流筛选机构通过离子光学组件与多层导电极板质量选择器，适配不同质量筛选需求；沉积机构配备全自由度机械手、磁力驱动杆及伸缩机构，便捷完成衬底安装调整，保障真空环境稳定。设备解决现有设备调节不便、操作复杂、稳定性不足等问题，提升组装调试效率与适配性，适用于多领域材料制备。