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一种钻针涂层及其制备方法
发明专利有效
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9权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
毛昌海; 祖全先; 帅小锋
IPC 分类
C23C 16/02 (2006.01)C23C 16/26 (2006.01)C23C 14/06 (2006.01)C23C 14/34 (2006.01)C23C 16/50 (2006.01)C23C 14/54 (2006.01)H05K 3/00 (2006.01)B26D 1/00 (2006.01)
本申请涉及一种钻针涂层及其制备方法,制备方法中:将含钴碳化钨钻针置于涂层机内,抽真空、升温后经氩离子蚀刻;以脉冲偏压加速低功率溅射的碳化钨离子,形成碳化钨层;调整偏压与功率,通入含碳气体形成碳化钨掺杂含氢类金刚石过渡层;关闭碳化钨靶材,通过电磁线圈辅助PECVD制备含氢类金刚石层。本申请采用无金属打底层的梯度涂层结构与工艺协同,适配钻针螺旋状凹槽的不平整表面,解决了含氢类金刚石涂层结合强度不足、传统涂层易脱落及总厚度过大的问题,显著提升钻针钻孔寿命、降低断针率,保障加工精度。