一种用于铜配副的固体润滑薄膜及其制备方法和应用

本发明提供了一种用于铜配副的固体润滑薄膜及其制备方法和应用，属于润滑材料技术领域。本发明的用于铜配副的固体润滑薄膜包括依次层叠设置的金属粘结层、金属碳化物梯度层和掺杂类金刚石碳膜层，所述金属碳化物梯度层中碳的含量沿所述掺杂类金刚石碳膜层的方向增加，所述掺杂类金刚石碳膜层中的掺杂元素为B、Si、Si+O混合元素或Si+F混合元素。本发明的固体润滑薄膜与铜配副对摩时，能够有效降低摩擦界面摩擦系数，显著降低铜摩擦副的磨损，表现出优异的摩擦学性能，与传统固体润滑碳薄膜相比较，具有显著更低的摩擦系数，能够显著降低铜配副磨损。