一种管式ALD的硅片装载方法

本发明是一种管式ALD的硅片装载方法，通过调整金属载具内各排硅片的插片疏密，来对金属舟内气流进行调整，具体的，金属载具内共有偶数排，每排内采用下列两种硅片装载方式中的其中一种进行硅片装载，第一种硅片装载方式是金属载具一排内两侧的槽内插满硅片，金属载具一排内中间的槽内则一个隔一个装载硅片；第二种硅片装载方式是金属载具一排内中间的槽内插满硅片，金属载具一排内两侧的槽内则一个隔一个装载硅片。本发明的优点：方法设计合理，对金属舟内气流进行调整，可有效增加尾排的源量，从而改善氧化铝薄膜沉积效果，提高薄膜均匀性。