一种晶圆升降装置及一种反应腔室

本发明提供了一种晶圆升降装置及一种反应腔室。该晶圆升降装置包括多根顶针及升降机构。该多根顶针的第一端位于加热盘的下侧，而第二端经由分布于加热盘的顶针过孔，延伸到加热盘的上侧。该顶针朝向顶针过孔的表面设有至少一个凹陷部，以收集沉积副产物。该升降机构，连接多根顶针的第一端，以驱动多根顶针升降。