镀膜装置及其镀膜方法

本发明公开了一种镀膜装置及其镀膜方法，涉及薄膜沉积技术领域。该镀膜装置包括机架、反应腔机构、进出舟流转机构和搬运机械手，反应腔机构设于机架内，反应腔机构包括两组反应腔组件，两组反应腔组件沿机架的宽度方向间隔设置，每组反应腔组件包括沿机架的高度方向依次设置的至少两个反应腔。进舟传送组件和出舟传送组件分别设于舟中转台的相对两侧，进舟传送组件用于将装载待镀膜产品的舟传送至舟中转台；出舟传送组件用于将装载已镀膜产品的舟自舟中转台传送出机架。搬运机械手设于两组反应腔组件之间，用于将舟中转台上的装载待镀膜产品的舟依次传送至两组反应腔组件中；且将装载已镀膜产品的舟从两组反应腔组件中依次搬运至舟中转台上。