一种电镀液循环过滤装置

本发明公开了一种电镀液循环过滤装置，该电镀液循环过滤装置包括：电镀槽1、过滤模块、温度控制模块以及控制模块；控制模块包括PLC控制器、压力传感器、流量传感器以及温度传感器；电镀槽1设置有抽液口以及回流口，其中，抽液口连接有篮式过滤器，继而篮式过滤器后端管道连接至温度控制模块的输入端；回流口连接至过滤模块的输出端；过滤模块包括第一过滤单元以及第二过滤单元，第一过滤单元及第二过滤单元依序设置于温度控制模块的输出端与回流口之间；第一过滤单元的过滤精度设置为5‑25μm；第二过滤单元的过滤精度设置为1‑5μm。电镀液循环过滤装置通过温度控制，高精度过滤，实现槽液成分和温度均匀，以此减少镀层针孔、粗糙、发雾等缺陷。