一种气体歧管块的电解抛光装置

本发明涉及半导体设备零部件加工技术领域，具体为一种气体歧管块的电解抛光装置，包括：气体歧管块、连接架A、连接架B、蝶形螺丝和内六角螺钉；其中，所述连接架A和连接架B底部的两端通过内六角螺钉安装有连接板A，所述连接架A和连接架B两侧的下端通过内六角螺钉安装有连接板B，所述连接板B顶部的一端安装有连接板E。本发明通过设置与气体歧管块内部细交叉孔相适配的辅助阴极，利用电解抛光技术，能够对细交叉孔内壁进行有效抛光，解决了因孔径细小无法机械抛光的问题，使气体歧管块内部细交叉孔满足使用的粗糙度要求，保证了混合气体流量的精确控制。