一种电化学腐蚀装置及其方法

本发明的一种电化学腐蚀装置及其方法，属于高精密工业技术领域，包括：S1、设置电化学工作站主机、位移与夹持系统、协同场发生器以及间隙感知系统，其中，位移与夹持系统包括用于夹持工件的工件夹具、电解池以及驱动工件夹具沿Z轴运动的Z轴伺服马达，协同场发生器包括集成于工件夹具或工具上的超声换能器，间隙感知系统包括高频交流信号发生器、偏置T型网络耦合器和阻抗分析模块，本发明利用设置的间隙感知系统，革新了间隙控制方式；区别于现有技术的物理接触，本方案在S2步骤中，利用高频交流信号发生器和工件接近电解液时产生的双电层电容效应，通过阻抗分析模块实时解调交流阻抗值。