一种单晶硅棒制备用单晶硅生长炉

本申请公开了一种单晶硅棒制备用单晶硅生长炉，包括基座、炉体、保护气体供应单元、第一驱动机构、炉盖、连接室、第二驱动机构、上副室、下副室、籽晶夹具提拉旋转单元、坩埚单元、坩埚驱动机构以及加热单元；第一驱动机构用于驱动炉盖移动，第二驱动机构用于驱动上副室移动；上副室和下副室之间通过副室驱动机构连接，下副室连接有升降座。本申请的单晶硅生长炉，能够实现更方便地下料，并且硅棒下料时需要的纵向的长度较小，从而对厂房的要求更低。并且能够实现上副室和下副室的水冷，并且当发生液体泄露时能够及时检测到，从而确保单晶硅生长的正常工作。