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一种单晶炉多晶硅料自动化加料装置
发明专利有效
10权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
王鸣; 高树良; 李春佳; 李小锋; 孙守堂
IPC 分类
C30B 15/02 (2006.01)C30B 29/06 (2006.01)B02C 4/26 (2006.01)B02C 4/28 (2006.01)B02C 4/42 (2006.01)B07B 1/34 (2006.01)B07B 1/42 (2006.01)
本发明属于坩埚加料技术领域,具体的说是一种单晶炉多晶硅料自动化加料装置,包括矩筒,矩筒的内部固定安装有流料筒,流料筒的顶部固定安装有料仓,料仓的顶部固定安装有投料口,矩筒的底部固定安装有法兰盘,流料筒的内部设置有筛料板,筛料板的顶部设置有碾料组件,碾料组件包括碾料辊轴;通过电机带动多个球杆拉动多个碾料辊轴在筛料板的顶部进行转动,碾料辊轴便会在环板内带动齿轴进行转动,通过齿盘与齿轴之间的啮合设置,当齿轴转动时,齿轴便会在齿盘上进行自转移动,从而使碾料辊轴在筛料板上转动的同时碾料辊轴本身进行自转,多个碾料辊轴便会对筛料板顶部的多晶硅料进行碾压,起到碾压多晶硅料的作用。
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