一种分子束外延设备四溴化碳源材料循环利用装置

本发明提供一种分子束外延设备四溴化碳源材料循环利用装置，涉及分子束外延生长技术领域。该装置包括分子束外延设备四溴化碳源材料装载区、管道加热区、液氮存储区、四溴化碳源出口管道、金属加热丝、控制器，分子束外延设备四溴化碳源材料装载区与四溴化碳源出口管道相连接，四溴化碳源出口管道被管道加热区包围着，四溴化碳源出口管道上缠绕有金属加热丝，金属加热丝与控制器相连接，分子束外延设备四溴化碳源材料装载区与液氮存储区相连接。与现有技术相比，解决了残留有四溴化碳的管道，在拆解维护时，因维护人员易吸入四溴化碳导致中毒等身体伤害；此外，也解决了残留在管道中的四溴化碳在回收过程中因易固化结块而无法再利用的难题。