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增强石英销倒影分辨率的方法、石英销以及直拉法单晶生长系统
发明专利有效
10权利要求 · 3 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
石绪忠; 李炜
IPC 分类
C30B 29/18 (2006.01)C30B 15/20 (2006.01)
本发明提供一种增强石英销倒影分辨率的方法、石英销以及直拉法单晶生长系统,使用紫外激光器对石英销的目标区域进行表面粗糙化处理,以增加所述目标区域在高温环境下的辐射亮度,从而当直拉法单晶生长系统采用该石英销进行液距测量,该石英销在硅熔液中的倒影分辨率得以增强,从而可以降低相机捕捉石英销倒影的难度,使得对于液距控制的精确性得以提高。另外,相较于其它粗糙化处理方法,利用紫外激光的高光子能量可以直接打开石英材料的化学键,同时通过控制工艺参数,使得在脆性石英玻璃表面实现可控的、无损伤的粗糙化。
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