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批量红外加热管真空处理设备及工艺
发明专利有效
8权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
叶根深; 叶玉梅; 丁红日; 梁叶飞; 叶婷婷
IPC 分类
F04B 37/14 (2006.01)F04B 39/00 (2006.01)F04B 39/10 (2006.01)F04B 39/12 (2006.01)F04B 39/14 (2006.01)
本发明公开了批量红外加热管真空处理设备及工艺,涉及红外加热管真空处理技术领域,包括放置架和气动传输机构,放置架侧安装有气动传输机构,气动传输机构包括放置架侧安装的传导组件,传导组件由真空泵、高压钢瓶、气体管路和阀门组成;本发明通过设计了多工位同步处理系统,实现了石英管的批量装夹和连续处理,采用了独特的气路切换机制,通过滑动导向机构和特殊设计的葫芦块结构,实现了抽真空与充气功能的高效转换,开发了高效的密封工艺,结合氢氧焰火炬密封技术,确保了石英管封接的可靠性和一致性。
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