一种耐烧蚀分子泵及半导体制造系统

本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种耐烧蚀分子泵及半导体制造系统，耐烧蚀分子泵包括泵壳、转子、通气结构和耐烧蚀窗，壳体第一端开口设置，壳体第二端与底座连接；转子设置于壳体内并与底座连接；通气结构设置于壳体内并靠近开口设置，通气结构上开设有通气孔和安装孔；耐烧蚀窗对应安装孔设置，耐烧蚀窗包括窗框和叶片，窗框与通气结构可拆卸连接，叶片与窗框连接并呈角度设置，沿第一方向，任意相邻两个叶片在窗框所在平面上的投影相互抵接或部分重叠设置。本发明中叶片沿第一方向在窗框所在平面的投影相互抵接或部分重叠，实现沿第一方向对转子的遮挡，使离子束无法直接与转子接触，实现对转子的保护，提高分子泵的整体使用寿命。