一种具有梯度孔径的真空吸盘及其制作方法和应用

本发明涉及一种具有梯度孔径的真空吸盘及其制备方法和应用，所述真空吸盘包括面向对象吸附方向的表层和远离对象吸附方向的底层，所述真空吸盘为碳化硅材质的多孔陶瓷，且所述表层孔径小，所述底层孔径大，由所述表层至所述底层的孔径逐级递增。本发明通过离心沉积结合碳化硅重结晶烧结的方法形成的真空吸盘具有梯度孔径结构，可以很好地保证了陶瓷内部的梯度孔径结构与通透性，提升了真空吸盘的吸附性能。