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一种烘干装置
发明专利有效
10权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
杨天伟; 殷玉乐; 陈征
IPC 分类
F26B 21/20 (2026.01)F26B 5/16 (2006.01)
本申请公开的烘干装置,用于烘干氮化铝陶瓷基板,包括机架、第一输送机构、水分吹扫机构、水分吸附机构、烘干机构和第二输送机构,第一输送机构、水分吹扫机构、水分吸附机构、烘干机构和第二输送机构均设置于机架,沿着氮化铝陶瓷基板的输送方向,第一输送机构、水分吸附机构、烘干机构和第二输送机构依次设置;水分吹扫机构包括至少一个水分吹扫组件,水分吹扫组件用于吹扫第一输送机构输送的氮化铝陶瓷基板的表面的水分。本申请公开的烘干装置,水分吹扫机构、水分吸附机构和烘干机构协同作用,能够改善现有的氮化铝陶瓷基板的表面残留水渍的状况,保证氮化铝陶瓷基板的正常使用。
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