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一种气相沉积炉的温度检测装置

发明专利有效
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10权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

张志豪; 董发

IPC 分类

G01K 13/00 (2021.01)C23C 16/52 (2006.01)G01K 1/14 (2021.01)

本发明涉及一种气相沉积炉的温度检测装置,涉及温度检测技术领域,其包括检测架和转动盘,所述检测架用于安装在气相沉积炉内,所述转动盘转动设置在检测架上,所述转动盘设置有若干检测杆,所述检测杆设置有用于检测温度的温度传感器,所述检测架设置有转动组件,所述转动组件用于带动转动盘转动。本申请具有提升温度检测的精确度的效果。