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压阻压容集成多输出复合型柔性压力传感器及其制备方法
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
刘锋; 李沛龙; 郑怀; 李耘凡
IPC 分类
G01L 1/14 (2006.01)G01L 1/18 (2006.01)G01L 9/06 (2006.01)G01L 9/12 (2006.01)
本申请公开了压阻压容集成多输出复合型柔性压力传感器及其制备方法。该复合型柔性压力传感器包括依次层叠设置的下柔性衬底、底电极层、离子凝胶膜、微结构弹性体、导电层、叉指电极层和上柔性衬底。由此,本申请的复合型柔性压力传感器内含有三个传感单元,能够在一个外部压力作用下,同步输出三个感应电信号,使得该传感器具备一对多的输出特性。因此,即使某个传感单元的电路失效无法输出感应电信号,其它传感单元仍能正常工作,使得该传感器具有高可靠性的特点。