力传感器

本公开涉及力传感器。传感器系统包括力传感器和测量电路，力传感器包括由立方半导体单晶制成的力传感器芯片；以及应变体，其被配置为响应于施加到应变体的外部机械力而经历体变形，其中，应变体以将外部机械力耦合到力传感器芯片从而使力传感器芯片主要沿主应变方向应变的方式机械地耦合到力传感器芯片。力传感器芯片包括一对集成在力传感器芯片中的压敏电阻性器件。该对压敏电阻性器件被配置为不同地响应沿主应变方向的应变。测量电路被配置为基于流过该对压敏电阻性器件的一个或多个电流来测量外部机械力。