晶圆的参数校准方法、系统及存储介质

本发明涉及晶圆领域，具体涉及一种晶圆的参数校准方法、系统及存储介质，包括：获取多个相同类型目标晶圆的历史性能测试MAP图；将多张历史性能测试MAP图叠加，进行归类迭代，得到目标晶圆的性能参数分布图，所述性能参数分布图包括若干个区域；在每个区域内筛选若干颗目标芯片，对筛选的目标芯片进行参数校准，生成校准码；将各个区域的校准码汇总，形成覆盖晶圆的批量校准码集合，依据所述批量校准码集合对晶圆内所有芯片进行参数校准。其能够减少测试时长，缩减测试成本。