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非接触式测量物体间距离的方法和系统

发明专利有效
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

夏子奂; 连超; 许杰; 史高升; 武夺; 季杰; 王秋瑾

IPC 分类

H01J 37/32 (2006.01)H10P 72/00 (2026.01)

提供了一种用于非接触式精准测量相对于邻近物体的位置的系统和方法。所述系统包括工件、至少一低高度组件和一中央控制单元;所述低高度组件包括指向第一方向并大致平行于工件表面的主轴,所述主轴与所述邻近物体的内表面相交;所述低高度组件还包括至少一投影仪,用于将电磁束投影到所述邻近物体上以进行测量;所述低高度组件和所述中央控制单元都附着在工件表面所需的位置。所述系统可以在封闭和尺寸受限的操作环境中独立操作。