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一种提高半导体激光器散热性能的散热结构及制作方法
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
扈心舒; 任夫洋; 张晓东
IPC 分类
H01S 5/024 (2006.01)
本申请提供的一种提高半导体激光器散热性能的散热结构及制作方法涉及半导体激光器技术领域。该散热结构包括巴条,所述巴条的N面和P面分别设置有第一水冷板,所述巴条两侧的解理面分别设置有第二水冷板。所述的第一水冷板内设置有第一液冷通道、第一进液口和第一出液口,所述的第二水冷板内设置有第二液冷通道、第二进液口和第二出液口。所述的第一液冷通道为宏通道。所述的第二液冷通道为呈直线结构的微通道,且所述的第二液冷通道与所述巴条的腔长方向平行。本申请提供的一种提高半导体激光器散热性能的散热结构能够有效提高大腔长巴条的散热效率,有利于提高激光器的性能、可靠性和使用寿命。