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一种超细超厚金薄膜电路的制造方法
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
杨臻; 王兴才; 王艳艳; 李国; 徐强; 李水艳; 周鑫
IPC 分类
H05K 3/16 (2006.01)H05K 3/06 (2006.01)H05K 3/18 (2006.01)H05K 1/16 (2006.01)
本发明公开了一种超细超厚金薄膜电路的制造方法,涉及PCB板技术领域,包括以下步骤:S1:清洗基片;S2:在清洗后的基片上进行双面溅射金种子层,以形成镀金片;S3:使用喷胶方式在镀金片上喷涂光刻胶,并进行曝光和显影;S4:随后在镀金片上进行阶梯式电镀;S5:使用刻蚀手段,将正面多余的金属区域去除,并在背面刻蚀切割道;S6:最后沿切割道进行切割,即可得到若干产品。采用本方案,在溅射薄金作为种子层后,采用喷胶方式在镀金片上制作光刻胶图形,从而实现线条宽度满足20±3um,金层厚度满足10‑12um的超细超厚电极的电感产品制作,制造出的薄膜电感系列产品可满足高电感量。