晶体管及其制备方法

本公开提供了一种晶体管及其制备方法。晶体管制备方法包括：在衬底上制作外延层；在外延层上制作复合掩膜层，复合掩膜层包括层叠在外延层上的第一掩膜子层和第二掩膜子层，第一掩膜子层为硅的化合物层，第二掩膜子层为光刻胶层；对复合掩膜层进行图形化处理，得到复合掩膜图案；在复合掩膜图案遮挡下，对外延层进行图形化处理，形成延伸到衬底的第一凹槽；去除所述复合掩膜图案。