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一种基于纳米铁电材料的可重构双栅晶体管及制备方法

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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

李梦姣; 杨静泊; 李恩龙; 张建华

IPC 分类

H10D 30/60 (2025.01)H10D 30/67 (2025.01)H10D 30/01 (2025.01)

本发明涉及半导体器件技术领域,提供了一种基于纳米铁电材料的可重构双栅晶体管,设置有底栅编程栅极和顶栅控制栅极,使用两个分立的栅极的形式,极大限度地减少晶体管编程与晶体管控制操作之间的串扰,提升晶体管的非易失特性与实用性,解决了传统晶体管在非易失性存储和快速调控方面的技术难题,优化了晶体管器件的电学性能,展现出良好的P/N转移特性曲线,较低的亚阈值摆幅。