一种晶圆转运设备

本申请公开了一种晶圆转运设备，包括机架以及安装于机架的承托件与驱动单元，承托件用于承托晶圆，机架设有横向相邻的转运区及安装腔，安装腔与转运区通过分隔板分隔，驱动单元安装于安装腔内，承托件安装于转运区内；分隔板开设有沿竖直方向延伸的避让通槽，晶圆转运设备还包括安装于安装腔内的分隔组件，分隔组件包括分别固定于安装腔内壁且位于避让通槽上下两端的滑动轮，以及套设于滑动轮的柔性止挡带，柔性止挡带随连接件的竖向运动而绕滑动轮转动，柔性止挡带与分隔板的侧壁抵接并覆盖避让通槽。柔性止挡带始终与分隔板的侧壁保持抵接状态，且完全覆盖避让通槽的开口区域，不会因连接件的运动出现间隙。