一种晶圆切割机移料装置及其抓取装置

本发明涉及晶圆输送技术领域，尤其是涉及一种晶圆切割机移料装置及其抓取装置，包括抓取支架、翻转板和吸盘机构；翻转板的两端与抓取支架之间设有翻转驱动组件；吸盘机构包括吸盘本体、吸盘阀芯、传动盘、辅助固定组件和辅助驱动组件；吸盘阀芯与吸盘本体之间设有第一气室和第二气室；吸盘阀芯底部均布有倾斜设置的气孔；吸盘阀芯与吸盘本体均设有与第一气室和各个气孔联通的高压气路；传动盘与翻转驱动组件连接；辅助固定组件与传动盘耦合；辅助驱动组件与各个辅助固定组件活动连接。本发明实现无接触吸附晶圆，以及断电时能够以“机械承托+翻转倒扣”的双重保护机制，对晶圆进行保护，提升了设备运行的安全性与可靠性。