搬送装置以及搬送方法

本发明提供在抑制了工件的品质降低的产生的状态下进行搬送的搬送装置以及搬送方法。搬送装置(1)是搬送工件的搬送装置，该工件为一张的单张状且具有设置于最表面的多孔质片作为吸附面，该搬送装置具备：输入部(11)，其在工件的搬送前设定吸附垫(32)吸附于工件的吸附条件；以及运算部(12)，其在根据吸附条件使吸附垫(32)吸附于工件并抬起了时，判定是否在工件产生比预定量大的下垂量，若下垂量为上述预定量以下则决定进行搬送，若下垂量比预定量大则决定不进行工件的搬送。