加热盘顶环及薄膜沉积设备

本发明提供了一种加热盘顶环和薄膜沉积设备。所述加热盘顶环包裹加热盘的外缘，所述加热盘顶环包括：内侧，所述内侧的表面贴合所述加热盘的外缘；外侧，所述外侧具有与一陶瓷环配合的结构，所述结构与所述陶瓷环之间的接触面互相配合。