一种多轴组合转台激光非接触动态校准系统及方法

本发明公开了一种多轴组合转台激光非接触动态校准系统及方法，系统包括激光发射器组件、气浮隔振台、全息接收屏、光斑采集处理装置和空间位置测量装置，校准方法包括S1‑S11的方法步骤。本发明通过动态测量获取多轴组合转台的多自由度运动参数，反馈至多轴组合转台控制系统，将其与目标参数的偏差，作为闭环反馈修正值，对多轴组合转台的控制精度进行修正，实现多轴组合转台激光非接触动态校准。本发明配合系统综合误差补偿方法，分离出由光斑质心定位误差、仪器对靶标点测量的人为视觉误差、以及仪器误差等构成的初始系统综合误差，提高多轴耦合误差的解算精度，提升多轴协同校准能力。