一种晶圆片上薄膜样品表面缺陷检测装置及方法

本申请公开了一种晶圆片上薄膜样品表面缺陷检测装置及方法，涉及晶圆片上薄膜样品表面缺陷检测领域，所述晶圆片上薄膜样品表面缺陷检测装置包括：线激光发射装置、位移模块和散射光收集模块；线激光发射装置用于发射线激光，待检测薄膜样品设置在线激光发射装置的出射光路上，待检测薄膜样品设置在位移模块上，位移模块用于带动待检测薄膜样品移动，以使线激光照射到待检测薄膜样品表面任何位置；散射光收集模块设置在待检测薄膜样品的散射光路上，散射光收集模块用于获取经待检测薄膜样品散射的光信号，并对光信号进行处理得到待检测薄膜样品表面的缺陷种类、缺陷位置以及缺陷尺寸，本申请可提高晶圆片上薄膜样品表面多种缺陷检测的效率。