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一种芯片表面质量双面检测系统

发明专利有效
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10权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

张林; 王茜; 郭挺

IPC 分类

G01N 21/956 (2006.01)G01N 21/01 (2006.01)

本发明公开了一种芯片表面质量双面检测系统,涉及芯片表面检测领域,包括检测台,检测台上开设有滑槽,滑槽内滑动装配有定位板,定位板的顶面固定有横向定位凸台与纵向定位凸台,横向定位凸台与纵向定位凸台呈直角连接,用于形成定位基角,检测台上设置有夹持组件,夹持组件包括小径负压管和小径挤压杆,小径负压管与小径挤压管均靠近或远离滑槽移动,检测台的下方与上方分别设置有下工业相机和上工业相机,检测台上设置有芯片翻转机构,芯片翻转机构用于将芯片翻转180°,使芯片的引脚朝上倒置在检测台上,不用以引脚为定位基准,从根源上规避了引脚变形对定位的干扰,显著提升引脚点位检测的准确性。