在线工艺过程中的波导损耗异常的验证方法

本发明公开了一种在线工艺过程中的波导损耗异常的验证方法，该方法中通过I CP‑MS在线监测系统重点监控预设工艺节点的沾污物质浓度，当沾污物质浓度大于预设浓度时拦截晶圆的流转，避免后续沾污物质扩散导致的非线性损耗激增。所述方法包括在预设工艺节点，通过I CP‑MS在线监测系统测试晶圆表面的沾污物质浓度；其中，所述预设工艺节点包括热处理前、热处理后和异质材料沉淀后；当所述沾污物质浓度大于预设浓度时，拦截所述晶圆的流转。