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一种低成本晶圆测试方法
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
周彦杰; 杨栓; 李艳磊; 胡晋铭
IPC 分类
G01R 31/28 (2006.01)
本申请提供了一种低成本晶圆测试方法。本申请通过创新的测试方法,即在测试过程中将多颗实际die合并为一颗测试die,有效减少了探针台需要识别的gross die总数,从而使得现有适配8寸晶圆的探针台能够测试超多gross die的8寸晶圆,避免了使用高价的12寸晶圆探针台,降低了晶圆测试的成本。