一种掩模版检测卡盘

本发明涉及一种掩模版检测卡盘，涉及掩模版检测装置技术领域,包括基板和至少两个用于挤压掩模版的夹持组件，所述基板的一侧开设有置物槽，所述置物槽具有四个槽壁，且其中相互垂直的两个槽壁分别为第一夹持面和第二夹持面，所述基板还开设有多个均连通所述置物槽槽底的吸附孔，各个所述吸附孔均用于连通负压产生器，各个所述夹持组件均固定于所述基板，并分布于与所述第一夹持面和所述第二夹持面相对的位置。本发明可实现对掩模版在检测过程中的稳定夹持，同时不会对掩模版造成损坏。