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电子装置的制造方法
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
陈昭仁; 李建兴; 邓士荣; 陈俊宏
IPC 分类
G03F 7/20 (2006.01)H10P 76/20 (2026.01)G03F 9/00 (2006.01)
本揭露提供一种电子装置的制造方法。电子装置的制造方法包括以下步骤:提供具有容置空间的透明载板,其中透明载板具有第一记号;设置样品于透明载板的容置空间中,其中样品具有第二记号;根据第一记号、第二记号以及标准值计算样品的偏移量;以及根据偏移量,形成第三记号于样品或透明载板上。本揭露的电子装置的制造方法可以提高工艺良率或可靠度。