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微波电子枪、生成电子回旋共振区域的方法和离子注入机
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
上海凯世通半导体股份有限公司; 北京凯世通半导体有限公司; 上海临港凯世通半导体有限公司; 合肥凯世通半导体有限公司; 凯世通半导体（青岛）有限公司
发明人
杨立军; 洪俊华; 姜畅; 刘科; 由维义; 郑迪; 王永生
IPC 分类
H01J 37/077 (2006.01)H01J 37/317 (2006.01)
本发明提供了微波电子枪、生成电子回旋共振区域的方法和离子注入机，其中，所述微波电子枪包括：等离子体腔室；所述等离子体腔室具有第一端和第二端；所述第一端用于通入微波；所述第二端用于通入气体；所述等离子体腔室的侧壁上设有逸出区，自所述第一端至所述第二端，逸出区的粒子逸出效率逐渐降低，所述粒子包括电子，和/或，气体分子/原子。本技术方案的微波电子枪，降低了等离子体腔室内的气体的泄漏程度，提高微波电子枪的工作性能。