滤波器及其制造方法

本公开实施例提供一种滤波器及其制造方法，其中，该滤波器包括：输入端、输出端以及位于输入端和输出端之间的至少一个谐振器，谐振器包括谐振区域和非谐振区域；谐振器包括：基底；沿基底的厚度方向堆叠设置的反射结构、底电极、压电层和顶电极，谐振区域包括反射结构、底电极、压电层和顶电极在垂直于基底方向上的重叠区域，压电层位于谐振区域和非谐振区域中；至少一个温度补偿结构，位于非谐振区域中，温度补偿结构和压电层相接触；其中，温度补偿结构包括负温度系数材料。