一种用于晶圆片涂胶工艺的推送夹取装置及施工方法

本发明公开了一种用于晶圆片涂胶工艺的推送夹取装置及施工方法，该装置主要包括晶圆片出料机、晶圆片进料机、桁架式夹取机械手装置和晶圆片涂胶平台。晶圆片出料机和晶圆片进料机可将晶圆片从料盒中推出和送入，桁架式夹取机械手装置通过桁架机械手末端的晶圆无损夹爪用于夹取晶圆片，控制X、Y、Z方向的运动，实现晶圆片在晶圆片出料机、晶圆片涂胶平台和晶圆片进料机三个机构之间的转运，在提高生产效率和产品质量的同时减轻人工操作失误。