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从含铝部件进行铝氟化物蚀刻
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
权柄锡; 基莱·郑; 黄彦辉; 法亚兹·A·谢赫; 尼克·拉伊·小林百格; 丹尼尔·博特赖特; 苏德西尔·乔普拉; 王瑞松
IPC 分类
C23G 1/22 (2006.01)H10P 72/00 (2026.01)C23C 16/44 (2006.01)
一种处理铝氟化物或铝氧氟化物的方法包括：提供含氟物质至一个或更多个部件所在的处理室中，将一个或更多个部件移出处理室，以及用蚀刻组合物清洁一个或更多个部件。该一个或更多个部件包括铝、铝合金或含铝材料。