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自动化机械调整粒子束柱的方法，相关计算机程序产品以及粒子束柱
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
S·鲍灵; D·施瓦茨; M·格内德尔; S·克拉曼特; B·辛德勒; M·海柏林
IPC 分类
H01J 37/147 (2006.01)H01J 37/18 (2006.01)H01J 37/22 (2006.01)
本发明公开了用于粒子束柱的多种自动化机械调整方法。举例来说，因此能够快速且精确地调整束产生器、聚光器透镜系统、检测系统和物镜系统。机械调整方法可与电气调整方法结合。