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涂覆设备和用于操作涂覆设备的方法

发明专利有效
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

斯蒂芬·莫斯哈默; 贝恩德·泰希尔特

IPC 分类

H01J 37/34 (2006.01)C23C 14/35 (2006.01)C23C 14/34 (2006.01)

本发明涉及涂覆设备和用于操作涂覆设备的方法。根据不同实施例,涂覆设备(100)可以包括:支承设备(130),支承设备提供旋转轴线(131)并且被配置为设置由支承设备(130)支撑的管状溅射靶材(10)围绕旋转轴线(131)旋转;可移动地安装的多个耦合电极(110),多个耦合电极沿旋转轴线(131)布置成行,以用于将交流电压耦合到溅射靶材(10)中;以及定位设备(120),定位设备被配置为根据表示溅射靶材(10)的几何形状的参数影响多个耦合电极(110)相对于彼此和/或相对于旋转轴线(131)的位置。