静电卡盘及基座

通过对内部所植入的电极施加电压而对载放于载放面的被加工物进行静电吸附固定的静电卡盘中，载放面具有由以规定的间距二维地隔离配置的多个凸部和所述凸部之间的平坦的凹部构成的凹凸结构，凸部具备：平坦部，其具有相对于静电卡盘的厚度方向而垂直且高度均匀的平坦面；以及倾斜部，其位于平坦部的周围，随着从平坦部趋向凹部，高度变小，倾斜部的上表面相对于静电卡盘的厚度方向的倾斜角为65度以上且84度以下。